關(guān)鍵詞 |
氧化鋁拋光液價(jià)格,西安氧化鋁拋光液,軟硬適中氧化鋁拋光液,氧化鋁拋光液聯(lián)系方式 |
面向地區(qū) |
全國 |
在使用氧化鋁拋光液時(shí)，需要注意以下幾點(diǎn)：
1. 選擇適合的顆粒大小和穩(wěn)定劑類型，根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)配。
2. 在拋光過程中，控制拋光液的溫度、濃度和拋光時(shí)間，以避免對材料造成損傷。
3. 定期檢查拋光液的質(zhì)量和穩(wěn)定性，及時(shí)更換或補(bǔ)充添加。
注意事項(xiàng):
●投入使用可以在鉆石液研磨后或碳化硼研磨后使用。
●拋光液原漿PH在12.5-13.5之間，稀釋后PH太低會影響去除率。
●使用中控制拋光墊溫度在45度以下。拋光液循環(huán)使用后，去除率下降，由單位確定是否換新液。
●拋光液的拋光效率，無結(jié)晶、濃縮液易清洗:推薦稀釋比例(1:3~1:5)。
納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對碳化硅晶圓表面無損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長、易清洗、通用性好等特點(diǎn)，適用于半導(dǎo)體碳化硅晶圓的CMP拋光。
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